پیش‌زمینه کاربرد
فرآیند اچ خشک به طور گسترده در تولید تراشه مورد استفاده قرار می‌گیرد. ویفر سیلیکونی به عنوان الکترود مثبت در پایین محفظه اچ قرار می‌گیرد. صفحه توزیع گاز با سوراخ‌های ریز متراکم، که به عنوان الکترود منفی عمل می‌کند، در بالای محفظه نصب می‌شود. با اعمال ولتاژ مناسب و معرفی گاز اچ پلاسما اسیدی، ریزساخت‌سازی بر روی ویفر سیلیکونی در داخل محفظه دمای بالا مطابق با الگوهای مدار تعریف شده توسط لیتوگرافی انجام می‌شود، به طوری که سطح ویفر تا عرض و عمق خط طراحی شده اچ شده و مدارهای مجتمع ریز تشکیل می‌شود.
الکترودهای بالا و پایین در تماس مستقیم با پلاسما هستند. در حین اچ کردن ویفر سیلیکونی، پلاسما هر دو الکترود را نیز فرسایش می‌دهد. الکترودها در اثر خوردگی گاز اچ دچار فرسایش فیزیکی و شیمیایی تدریجی می‌شوند. پس از فرسایش تا سطح معینی، الکترودها باید تعویض شوند تا اچ یکنواخت تضمین شود. سوراخ‌های توزیع شده به طور یکنواخت بر روی الکترود بالایی (سر دوش / صفحه توزیع گاز) به دلیل خوردگی گاز اچ دچار انحراف ابعادی می‌شوند و در صورت تجاوز از حدود تلرانس نیاز به تعویض دارند.

تحلیل راه حل
🔹 آزمایش‌ها بر روی ماشین‌کاری سیلیکون تک کریستالی با مته PCD φ0.45 میلی‌متر، کمترین لب‌پر شدن لبه سوراخ را نشان می‌دهد. تحت بازرسی میکروسکوپی، تلرانس گردی سوراخ کمتر از 0.005 میلی‌متر، دقت ابعادی در حد ±0.003 میلی‌متر و زبری سطح ≤Ra0.2 μm است که الزامات مشتری را برآورده می‌کند.
🔹 در آزمایش‌های اولیه، مته پس از ماشین‌کاری 3500 سوراخ، سایش جزئی لبه را نشان می‌دهد و همچنان قابل استفاده است.
🔹 مته‌های PCD Worldia به چهار سری (WZ1، WZ2، WZ3 و WZ-X) بر اساس مواد پردازش شده و سناریوهای کاربردی تقسیم می‌شوند، با محدوده قطر φ0.1 تا φ1.0 میلی‌متر. مته‌های PCD جامد از طراحی خودمرکز استفاده می‌کنند و از نسبت حداکثر عمق به قطر تا 57:1 پشتیبانی می‌کنند. شیارهای تراشه با سنگ‌زنی یکپارچه برای تخلیه روان تراشه ساخته می‌شوند. پرداخت دیواره سوراخ ماشین‌کاری شده می‌تواند به Ra0.2 μm یا بهتر با لب‌پر شدن کم لبه سوراخ برسد. نوک مته PCD مقاومت عالی در برابر سایش، عمر طولانی ابزار و ثبات ابعادی بالا را ارائه می‌دهد. این محصولات نیازهای ماشین‌کاری سوراخ‌های ریز برای سیلیکون تک کریستالی، سیلیکون پلی‌کریستالی، SiC، سرامیک، کوارتز ذوب شده و سایر مواد در صنعت نیمه‌هادی را برآورده می‌کنند.

منبع داده: گزارش تست ابزار از بخش فناوری ابزار دقیق شرکت Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

 برای اطلاعات بیشتر، لطفا مراجعه کنید: 

📌www.worldia-tools.com

📍یا استعلام‌ها را به آدرس info@worldia-tools.com ارسال کنید.